[发明专利]光掩模坯

摘要

透射衰减嵌入相移光掩模坯包括至少一种聚合物材料，优选为一种无定形含氟聚合物，或一种掺有氟功能化的有机硅烷的无定形含氟聚合物，和有机硅酸酯，或其组合，此聚合物材料具有：a)在所选择的平版印刷波长在400nm以下时的折射率(n)范围在1.2～2.0，优选在1.26～1.8的范围；和(b)，在所选择的平版印刷波长在400nw以下时的消光系数(k)范围在0.04～0.8，优选在0.06～0.59的范围。

主权项

1.一种聚合物的透射衰减嵌入相移器光掩模坯，包括至少一种具有下列指数的聚合物材料：(a)、在所选平版印刷波长在400nm以下时，折射率范围为1.2～2.0；和(b)、在所选平版印刷波长在400nm以下时，消光系数(k)范围为0.04-0.8；其中所述聚合物材料选自：i)一种含有一种发色团的无定形含氟聚合物；ii)含有芳基的有机硅酸酯；所述有机硅酸酯由无机硅酸酯、有机硅酸酯或其混合物所稀释；和iii)i)和ii)的混合物；其前提条件是当有机硅酸酯中所含的芳基是苯基时，所选的波长是193nm。