[发明专利]光学测量无效
| 申请号： | 97196506.4 | 申请日： | 1997-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1225720A | 公开（公告）日： | 1999-08-11 |
| 发明（设计）人： | M·G·索梅克;C·W·西伊;刘书钢 | 申请（专利权）人： | 英国技术集团国际有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30;G01N21/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹光新,张志醒 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于相位反衬显微镜或椭圆率测量的装置有带有分束器(HDE)的相干辐射源,以获得射向测试表面的干涉光束和参考光束。物镜接收两路散射或反射光束,合束后提供表示表面结构的光信号。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 | ||
【主权项】：
1．一种光学测量装置，包括光辐射源(2)光束产生装置(HDE)，用于从所述光辐射源产生主光束(4)和二级光束(6)，其特征在于，所述主光束(4)射向物体(8)，以便探测物体的局部结构，所述二级光束(6)照射在所述物体上用作参考光；光处理装置(HDE)，用于由所述主光束和所述二级光束在从所述物体反射后产生三级光束和四级光束；和合束装置(HDE)，将所述三级光束和四级光束合束，以获得表示所述物体表面附近的结构的光信号。
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