[发明专利]光刻胶组合物用的水性抗反射涂料无效
| 申请号： | 97197298.2 | 申请日： | 1997-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1228172A | 公开（公告）日： | 1999-09-08 |
| 发明（设计）人： | D·L·杜拉姆;I·麦克库洛克;R·R·达梅尔;卢炳宏;康鸣;D·N·坎纳;丁术季 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型抗反射涂料水溶液及其用于光至平版印刷的方法。抗反射涂料水溶液包括一种新型聚合物和水，其中抗反射涂料的新型聚合物包括含有至少一种在大约180－450nm有吸收的单元，至少一种含有交联基团的单元，和至少一种由亲水乙烯基单体或能够变成亲水乙烯基单体衍生的单元。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 水性 反射 涂料 | ||
【主权项】：
1．一种用于光至平版印刷的水性抗反射涂料组合物，包括水和聚合物，聚合物含有：a)至少一种有以下结构的染料单元，其中R1-R4是H,(C1-C4)烷基或(C1-C4)烷氧基，R5是OH,NH2,OCH3或OCH2CH3,R6是H,(C1-C4)烷基或(C1-C4)烷氧基，R7是H,(C1-C4)烷基或(C1-C4)烷氧基或硝基，R8是硝基，SONH2,COOY,SO3Y且这里的Y是H，碱金属，铵或烷基铵，X是一个共轭部分，如N=N,CZ=CZ,CZ=N,N=CZ，这里的Z是H,(C1-C4)烷基或(C1-C4)烷氧基，m=1-3,n=1-4；b)至少一种有以下结构的单元：其中R1-R4是H,(C1-C4)烷基或(C1-C4)烷氧基且Y含有一种交联基团；和c)至少一种亲水乙烯基单体或能够变成亲水乙烯基单体衍生的单元。
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