[实用新型]快速退火装置无效
| 申请号： | 97209801.1 | 申请日： | 1997-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN2298265Y | 公开（公告）日： | 1998-11-25 |
| 发明（设计）人： | 杨盛笔 | 申请（专利权）人： | 杨盛笔 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B35/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈海红 |
| 地址： | 台湾省云林县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种快速退火装置,其具有一个对外界气体、温度及压力密封的反应室。该反应室包括一个冷却区,一个缓冲区及一个加热区。利用适当的传送装置及控制装置,将欲退火的样品在不同反应区间传送,并控制其内部气体的种类及进出,以及反应室之温度、压力,以提供各种不同退火之环境,达到快速退火的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 退火 装置 | ||
【主权项】：
1.一种快速退火装置，其特征在于包括：一外壳，以维持一密封的反应室；一样品置放装置，用以置放一待退火的样品；一加热装置，利用一加热源产生热能，以对该样品加热；一冷却装置，利用一冷却手段以使该样品降温；一加压装置，利用控制至少一气体进出阀，以使该反应室维持于所需的压力；一传送装置，利用一与反应室外隔绝的功力传送手段，可将该样品置放装置移近、移入、及移离该加热装置；及一控制装置，用以控制该加热装置、冷却装置、加压装置及传送装置。
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