[实用新型]微阵列三维面形并行共焦检测装置无效
| 申请号： | 97210075.X | 申请日： | 1997-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN2293844Y | 公开（公告）日： | 1998-10-07 |
| 发明（设计）人： | 田维坚;郭履容;陈波;王辉;李勇;唐继跃 | 申请（专利权）人： | 四川联合大学 |
| 主分类号： | G02B27/22 | 分类号： | G02B27/22 |
| 代理公司： | 四川大学专利事务所 | 代理人： | 陈智伦 |
| 地址： | 61006*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 微阵列三维面形并行共焦检测装置,依次由处于同一条中心光轴上的光源、小孔光阑、准直透镜、微光学阵列合成器、半反半透镜、物镜构成。除半反半透镜为45°倾斜外,其余各部件所在平面相互平行并均垂直于中心光轴。CCD面阵所在平面平行于中心光轴、其接收面正对半反半透镜反射面。本装置可动态系统三维面形进行同时准确测定、误差小,结构简单,制作容易,操作方便,成本低廉,实用性强,应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 三维 并行 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、微阵列三维面形并行共焦检测装置，其特征是它主要依次由处于同一条中心光轴线上的光源、小孔光阑、准直透镜、微光学阵列合成器、半反半透镜、物镜构成，其中，光源、准直透镜、微光学阵列合成器及物镜各自所在平面均垂直于中心光轴线、并相互平行，半反半透镜所在平面则与物镜所在平面相交成45°，在中心光轴线以外还有CCD面阵，该面阵的中心点与半反半透镜的中心点之间的连线垂直并相交于中心光轴线，该连线之长与微光学阵列合成器中心点同半反半透镜中心点之间的连线长度相等，面阵所在平面平行于中心光轴线、并与半反半透镜所在平面相交成45°，面阵接收面与半反半透镜反射面始终相对。
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