[实用新型]旋转靶柱型磁控溅射器

摘要

本实用新型公开了一种旋转靶柱型磁控溅射器,它包括支承架,靶组件,特征是把磁组件的极靴制成闭合回路极靴,磁钢置于极靴的闭合槽内,用薄壁不锈钢管,把上述磁组件密封成一个略短于靶管的磁组件,外表包复有溅射材料的空心铜靶管,心轴通过动密封组件,及引出驱动组件布置在底座上,心轴与靶管通过松套法兰连接。本实用新型的优点是更换靶材方便,靶材利用率高,膜层纯洁。

主权项

1.一种旋转靶柱型磁控溅射器，它包括支承架，靶组件，其特征在于所说的靶管组件包括磁组件、靶管，磁组件具有极靴[34]，极靴一侧面开有椭圆形磁钢沉孔[34a]，与它相对的另一侧面开有导水管沉槽[34b]，表面镀复防锈的镍层，该极靴的左端焊上一个不锈钢左端轴头[32]，该轴头的右侧开有一个水腔[32a]，左侧为空心凸台，左端轴头空心凸台上设有横销钉[31]，极靴[34]的右端焊上一个带凸台的不锈钢右端轴头[39]；极靴磁钢沉孔[34a]中布置永久磁钢[38]，磁钢的顶部粘贴一条纯铁半圆形匀磁片[37]，极靴与磁钢的间隙中充填塑料间隔片[44]，极靴导水管沉槽[34b]中焊上一个两端开口的导水铜管[35]，上述组件的外周包封一个薄壁不锈钢管[36]，制成密封式磁组件[I]上述磁组件的左端轴头[32]上套上一个带回水斜孔的聚四氟乙烯滑块[30]，右端轴头[39]上配合一个防锈的向心推力轴承[40]，将磁组件同轴地布置在靶管[33]内，靶管右端设有盲法兰[43]，盲法兰一端带轴承孔，另一端带凸台，盲法兰与靶管一端部之间设有密封圈[41]，盲法兰用拼紧螺帽[42]固定在靶管上，靶管另一端用松套法兰[28]，密封圈[29]，固定密封在心轴[27]一端带锥形内孔的法兰[27a]上。