[实用新型]用于大面积辅助镀膜的无栅离子源

摘要

本实用新型涉及等离子体技术中的一种镀膜、装置,它主要包含有放电室、阳极、阴极发射体、阴极磁极靴、磁屏、阳极磁极靴。本实用新型利用电磁线圈及极片构成异形磁场,改变临界磁力线的形状,增加高速电子区的体积,减小其表面积从而提高放电效率;可以施加屏极电压,主动控制等离子体电位,从而主动控制参与辅助镀膜的等离子体离子能量;可以进行含氧的反应辅助镀膜。

主权项

1．一种用于大面积辅助镀膜的无栅离子源，其特征在于它包括有：放电室、阴极、水冷阳极、阴极发射体、阴极座、阴极加热体、阳极磁极靴、磁屏、阴极磁极靴、阴极加热电极，均压盘、阴极氧化铝绝缘子、阳极氧化铝绝缘子和底板所组成，其中放电室、水冷阳极、磁极靴均呈圆筒状，阳极与磁屏间由螺丝固定，阴极为杯状，它与阴极座嵌接，筒状阴极加热体中间切缝与阴极加热导柱采用螺钉压紧，阴极电源通过阴极加热电极、阴极加热导柱对阴极加热体加热，当阴极被加热到特定温度以上即发射电子，筒状阳极在加热电源作用下，在阴极附近建立起发射鞘层，阳极磁极靴、磁屏、阴极磁极靴及放电室内的环形磁场构成磁回路。