[实用新型]真空溅射镀膜机无效
| 申请号： | 97235969.9 | 申请日： | 1997-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN2300656Y | 公开（公告）日： | 1998-12-16 |
| 发明（设计）人： | 沈琪;张小清 | 申请（专利权）人： | 常州市太湖磁控溅射技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 武进市专利事务所 | 代理人： | 林倩 |
| 地址： | 213179*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空溅射装置,包括一个真空炉,其外联接有扩散泵、机械泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵与传动减速装置,炉体顶部设有导气管,真空炉为立式,炉体底部装有弧形导轨,其上装有由传动减速装置控制的可沿弧形导轨移动的靶座,真空炉的炉门为弧形。本实用新型,设备成本低,占地面积小,可以镀各种规格的弧形材料,且成品的镀层均匀、牢固,光洁度好,广泛应用于建筑、装璜等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空溅射装置，包括一个真空炉，其外联接有扩散泵、机械泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵与传动减速装置，炉体顶部设有导气管，其特征是：真空炉为立式，炉体底部装有弧形导轨，其上装有由传动减速装置控制的可沿弧形导轨移动的靶座，真空炉的炉门为弧形。
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