[实用新型]复合靶体无效
| 申请号： | 97244446.7 | 申请日： | 1997-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN2306479Y | 公开（公告）日： | 1999-02-03 |
| 发明（设计）人： | 沙健;马向阳;张守业 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | F41J1/01 | 分类号： | F41J1/01 |
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 复合靶体,它具有靶芯,在靶芯表面涂覆有靶材。靶芯采用耐高温刚性材料,如石英玻璃、陶瓷、金属及合金材料。靶材采用氧化物功能陶瓷材料,如铁电材料、氧化物高温超导材料、氧化物巨磁阻材料及氧化物磁光材料。本实用新型的优点是制作方法简单,用料节省,靶材易于更换,制靶不需模具。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 | ||
【主权项】：
1．一种复合靶体，其特征在于它具有靶芯[1]，在靶芯表面涂附有靶材[2]。
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