[实用新型]半导体光学测量真空辅助低温装置无效
| 申请号： | 97246539.1 | 申请日： | 1997-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN2314365Y | 公开（公告）日： | 1999-04-14 |
| 发明（设计）人： | 武胜利;王立军;付德惠;刘云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 宋天平 |
| 地址： | 130021*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种半导体光学测量真空辅助低温装置,属于光学测试辅助设备。由聚四氟乙烯盖(11)密封并装有间隙为6mm的上下两个导光玻璃窗口(8、9)把真空样品室(4)密封,间隙中装有电阻加热丝(10)保证玻璃窗口不结霜,样品室(4)与无氧铜散热器做成一体,并放入有夹层真空的不锈钢容器(2)中形成样品(7)的低温,从而实现了样品的现场光学测量。本装置价格低,易制作,方便实用适于在低温状态下各种低温光学系统使用。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 光学 测量 真空 辅助 低温 装置 | ||
【主权项】：
1、一种半导体光学测量真空辅助低温装置，包括有外部套有保温外壳(1)的带真空夹层的园桶形不锈钢容器(2)，绝热硬质泡沫盖(12)，补充液氮孔(14)以及放气孔(13)等，其特征在于将上部做成为敞口园筒形真空样品室(4)，下部为同心园柱的无氧铜散热器(3)，通过绝热硬质泡沫盖(12)同心地放入带真空夹层的不锈钢容器(2)中，真空样品室(4)的中心突台(6)上放置样品(7)，(4)的一侧向外连通有真空管路(5)，通过油脂密封在真空样品室(4)的上方盖有下层导光玻璃窗口(9)，置放有上层导光玻璃窗口(8)和电阻加热丝(10)的聚四氟乙烯盖(11)通过螺纹与真空样品室(4)密封连接，穿过绝缘硬质泡沫盖(12)开有连通不锈钢容器(2)的放气孔(13)和补充液氮孔(14)。
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