[发明专利]绝对距离测量的波长扫描干涉系统及其信号处理方法无效
| 申请号： | 98101034.2 | 申请日： | 1998-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1201901A | 公开（公告）日： | 1998-12-16 |
| 发明（设计）人： | 廖延彪;王勇;田芊 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于精密测量技术领域。包括由单模光纤连成一体的扫描光源,光纤耦合器、参考干燥仪及传感干涉仪,探测器,以及光电转换、放大滤波电路、A/D变换器,计算机数据处理单元。本发明使其结构更加简单合理,减少系统的损耗及干涉噪声,提高了系统的可靠性,同时提出一种新的信号处理方法,提高了测量精度,并使运算时间大大缩短,更好地满足实际应用的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 绝对 距离 测量 波长 扫描 干涉 系统 及其 信号 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种绝对距离测量的波长扫描干涉系统包括由单模光纤连成一体的扫描光源，光纤耦合器、参考干涉仪及传感干涉仪，与光纤耦合器相连的光信号探测器，对探测器检出的光信号进行转换的光电转换、放大滤波电路、A/D变换器以及对该转换器的输出信号进行实时处理的计算机数据处理单元，所说的参考干涉仪由两个分别连于光纤输入端的共轴1/4节距自聚焦透镜构成，所说的传感干涉仪是由与光纤输出端相连的自聚焦透镜和待测物表面构成。其特征在于所说的扫描光源、参考干涉仪、传感干涉仪通过两个耦合器与光纤构成两级串联结构。
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