[发明专利]“准球面型”微型气敏传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 98101622.7 | 申请日： | 1998-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1093636C | 公开（公告）日： | 2002-10-30 |
| 发明（设计）人： | 李建平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | “准球面型”微型气敏传感器及其制备方法，包括硅片1，在硅片1上部有一基础层2，在基础层2与隔离层4之间的加热测温电极3叉指电极5制作在隔离层4上，敏感薄膜6覆盖住叉指电极5，在硅片1与基础层2之间为一准球面型的空间7，在隔离层4上有小孔8与准球面型的空间7相通。本发明采用牺牲层技术制备“准球面型”膜片，该片的机械强度比平面型的要大，不易产生应力，制作工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 微型 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微型气敏传感器，包括硅片(1)，在硅片(1)上部有一基础层(2)，在基础层(2)与隔离层(4)之间的加热测温电极(3)，叉指电极(5)制作在隔离层(4)上，敏感薄膜(6)覆盖住叉指电极(5)，硅片(1)与基础层(2)之间为一空隙(7)，在隔离层(4)上有小孔(8)与空隙(7)相通，其特征在于形成的膜片是准球面型。。
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