[发明专利]高功率激光二极管列阵的微通道冷却封装组件无效
| 申请号： | 98102464.5 | 申请日： | 1998-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN1103505C | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 戴特力 | 申请（专利权）人： | 重庆师范学院;成都华民实业有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 4000*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明与高功率激光二极管列阵有效冷却方式有关。该组件由硅片一玻璃片一硅片粘合而成，13mm×13mm×1mm。硅片内侧有化学蚀刻的200条微通道，二极管条粘附在微通道背面。泵送高压冷却液从中流过，实现冷却。本发明提出更有效的方法，在一次工艺中完成夹心层的粘合。本发明是将硅片，玻璃片，硅片三层材料叠好，放在恒温炉中两电极间实现，用于玻璃与金属(或单晶)之间的粘合。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 激光二极管 列阵 通道 冷却 封装 组件 | ||
【主权项】：
1.高功率激光二极管列阵的微沟道冷却封装组件制作过程中，夹心层电场粘合方法是：将上硅片、玻璃片和下硅片依次叠合，放在两个电极之间，用一定压力使上硅片、玻璃片和下硅片之间的两对洁净光学界面紧密接触，再置于恒温炉中以每小时50～100℃速率升温到550℃，同时将静电场正负极加在两电极上，电压缓慢调节到约800V，恒温两小时后静电场缓降为零伏，温度不变，再利用已经接入电路中的双刀双掷开关使电极反向，又以同样方式施加静电场，恒温两小时后缓降至室温而完成的。
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