[发明专利]变光源阴影莫尔测量方法及其装置

摘要

一种变光源阴影莫尔测量方法及其装置，包括变光源装置、光栅、光电传感器、放在光栅之后的被测物体、测量结果输出装置，由变光源装置每改变光源位置一次，光电传感器就可通过光栅观察到被测物体相应的莫尔条纹图I，保持其它相对位置不动，连接改变n次(n≥3)光源位置，得到相应N幅莫尔条纹图I1，I2……In(n≥3)，通过求解莫尔条纹图，可得到物体的三维形面信息。由于采用了变光源技术，拓宽了阴影莫尔测量方法的运用范围，提高了其技术性能，测量精度提高了10倍，达到10μm，并且使测量时间由40秒缩短1.5秒，从而达到了实时在线检测的需要，可广泛用于微电子工业产品的在线测试。

主权项

1、一种变光源阴影莫尔测量方法，包括以下步骤：1)把一光栅接近于物体表面放置；2)通过第一个点光源(S1)或线光源(L1)照射光栅，从而在物体表面将产生第一幅变形光栅图(J1)；3)光电传感器通过此光栅来观察第一幅变形光栅图(J1)，就可得到包含了被测物体形面的三维信息的第一幅变形光栅图(I1)；本发明的特征是：4)保持其它相对位置不动，改变光源空间位置，通过第二个点光源(S2)或线光源(L2)照射光栅，从而在物体表面将产生第二幅变形光栅图(J2)；5)观察第二幅变形光栅图(J2)，就可得到第二幅莫尔条纹图(I2)；6)重复上述4)、5)n次可得到第n幅莫尔条纹图(I1，I2……In)，就可得到物体得三维形面坐标；7)通过求解这n幅莫尔条纹图(I1，I2……In)，就可得到物体的三维形面坐标。