[发明专利]减小半导体材料尺寸的装置和方法无效
| 申请号： | 98102651.6 | 申请日： | 1998-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1209034A | 公开（公告）日： | 1999-02-24 |
| 发明（设计）人： | 弗朗茨·克普尔;保罗·富克斯 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 甘玲 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用来减小半导体材料尺寸的新型装置,该装置至少有两个相间隔电极,电极是由将要被减小尺寸的半导体材料构成的,并且,每一个电极装有一个加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 半导体材料 尺寸 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用来减小半导体材料的尺寸的装置，该装置至少有两个相间隔的电极，电极是由将要被减小尺寸的半导体材料构成的，并且每个电极有一加热装置。
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