[发明专利]蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置

摘要

本发明涉及一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置，该装置由主轴、伸缩致动件、箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧组成。伸缩致动件的两端与导向固定件相对固定，预紧弹簧置于导向固定件之间，导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧机构的电磁磁路相对固定。本发明的定位装置在保持高位移分辨率的同时实现高精度和平稳的大行程进给定位，并且结构紧凑、控制方便，适用于微小型机械的加工、装配与操作。

主权项

1、一种蠕动式压电/电致伸缩微进给定位装置，包括主轴、伸缩致动件，其特征在于还包括箝位夹紧机构、导向固定件和预紧弹簧；所述的伸缩致动件的两端部与导向固定件相对固定，导向固定件的内径面与主轴成滑动配合；预紧弹簧置于导向固定件之间；所述的箝位夹紧机构由不动部分的电磁磁路和可动部分的力放大杆、弧状杆、柔性铰链组成；导向固定件的一侧与伸缩致动件相连，另一侧与箝位夹紧机构的电磁磁路相对固定，导向固定件的柔性悬臂套的外径面与箝位夹紧机构可动部分的夹紧脚过盈配合。