[发明专利]一种微细加工的红外线法布里－珀罗滤色器及其制造方法

摘要

介绍一种红外线法布里-珀罗滤色器，包括硅片，硅片内形成的矩形空腔，横跨空腔并以硅片为支持的矩形硅膜，附着于硅膜下部表面的反射镜和附着于空腔底部表面的反射镜，制作在矩形硅膜两相对固定边缘部分的压阻电阻器，制作在矩形硅膜中间部分的压阻电阻器，附着于矩形硅膜两相对固定边缘部分上部表面的电致薄膜伸缩器，附着于矩形硅膜中间部分上部表面的防红外线反射薄膜。反射镜的移动由电致薄膜伸缩器驱动，移动控制和反射镜平面性能调整由压阻电阻器执行。#!

主权项

1.一种微细加工的能调谐的红外线法布里-珀罗滤色器，其构成包括一个硅衬底，一个硅膜，二个反射镜，其特征在于：一空腔处于所说硅衬底上部表面体内，所说硅膜横跨所说空腔，其两端固定于所说硅衬底，一个压阻电阻器处于所说硅膜固定边缘部分，另一个压阻电阻器处于所说硅膜中央部分，所说第一个反射镜附着于所说硅膜的下部表面，所说第二个反射镜附着于所说空腔的底部表面，两组电致伸缩薄膜分处于所说硅膜两相对固定边缘部分的上部表面，一防反射薄膜附着于所说硅膜上部表面暴露部分。