[发明专利]具有低电阻的晶状固溶体粉末、制备方法和应用

摘要

一种生产晶状固溶体粉末的方法，包括在等离子体室里的等离子体电弧里将至少两种反应剂反应和在高速气流中将所得的产物冷却形成粉末。第一反应剂是熔融金属合金、第二反应剂是气体。这种反应是在等离子体电弧里进行的以及在等离子体室的出口孔处通过气流作用急冷该产物。通过这种方法形成的晶状固溶体粉末具有低的电阻率。如果铟锡合金被用作第一反应剂、氧气用作第二反应剂而获得的铟锡氧化物(ITO)晶状固溶体粉末在密实到理论密度的40％时，它的电阻率约2Ωcm。这种ITO晶状固溶体粉末特别适合于制作具有高导电率和高溅射率的ITO靶。$#!

主权项

1.一种生产晶状固溶体粉末的方法，该方法通过使至少两种反应剂在等离子体室里的等离子体电弧中反应，获得熔融原料，等离子体室装备有一个反应剂入口孔和一个备有气体供给装置的出口孔，其中熔融金属合金用作第一反应剂，而气体作为第二反应剂，其特征在于，铟锡合金被用作第一反应剂，而氧气作为第二反应剂，晶状固溶体粉末的电阻率低于100Ωcm，包括将在等离子体室的出口孔处的、于等离子体室等离子体电弧中反应过的材料以速度为300-500米/秒的气流急冷，以105-108K/s范围内的冷却速度将该材料冷却到温度在50-400℃之间，生产出在氧化铟晶格中含有至少90体积％铟锡氧化物晶状固溶体相的晶状固溶体粉末。