[发明专利]振幅掩模和用其制作长周期光栅滤波器的装置无效
申请号: | 98103044.0 | 申请日: | 1998-07-21 |
公开(公告)号: | CN1120991C | 公开(公告)日: | 2003-09-10 |
发明(设计)人: | 章絑宁;郭京昊;崔普勋 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G02B6/34 | 分类号: | G02B6/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱进桂 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于长周期光栅滤波器制作装置的振幅掩模,包括:一个具有周期性选择透光的透过区和不透光的非透过区的金属基片;和一个形成在该金属基片非透过区上,用于改变透过区周期的压电变频器。该透过区形成在金属基片的中间,压电变频器形成在透过区的上方和下方。多个压电变频器形成在非透过区上,以改变透过区的周期。 | ||
搜索关键词: | 振幅 制作 周期 光栅 滤波器 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于长周期光栅滤波器制作装置的振幅掩模,其特征在于包括:一个具有周期性选择透光的透过区和不透光的非透过区的金属基片;和一个形成在该金属基片非透过区上,用于改变透过区周期的压电变频器;压电变频器形成在该透过区的上下相对两侧。
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