[发明专利]增进超纯水水质稳定度的方法无效
| 申请号： | 98103483.7 | 申请日： | 1998-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN1117701C | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金光祖 | 申请（专利权）人： | 金光祖 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光,张占榜 |
| 地址： | 台湾省台北市 *** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种增进超纯水水质稳定度的方法，是在超纯水的供水系统中--包括有前处理系统，超纯水回路和制程废水回收系统(包括洗涤废水回收系统，CMP制程废水回收系统(chemicalmechanicpolishwastewaterrecoverysystem)等等)，强制对流体混合，使任一截面的流体，和前面及后面相邻的截面的流体彼此混合，再将最终产出之超纯水送至需要超纯水的物品上。 | ||
| 搜索关键词： | 增进 超纯水 水质 稳定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增进超纯水水质稳定度的方法，其特征在于该方法是在超纯水的供水系统中，使任一截面的水与前面及后面相邻截面的水混合而强制对水搅拌或混合。
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