[发明专利]超净空气的制造方法无效
| 申请号： | 98103760.7 | 申请日： | 1998-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1091627C | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 水野全;多田益太;山崎纪男;福本隼明 | 申请（专利权）人： | 大阳东洋酸素株式会社;三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明以大气为原料，可以高效率地制造在管道式晶片输送系统等中使用的、不会污染晶片或产生自然氧化膜的超净空气。即，用活性氧化铝与合成沸石的混合物7a在常温下对取自大气的原料空气1a进行吸附处理，尽可能地主要除去水分和二氧化碳气体，得到前处理空气1b。用第1热交换器12冷却前处理空气1b，在-40℃～-60℃下用合成沸石9a进行吸附处理，然后用第2热交换器13冷却该处理空气1c，在-150℃～-180℃下用合成沸石10a吸附处理，得到氮、氧、稀有气体以外的化学成分的浓度为1ppb以下且露点为-100℃以下的超净空气1e。 | ||
| 搜索关键词： | 净空 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.超净空气的制造方法，其特征是，在-40℃～-180℃的处理温度下用吸附剂对从大气中获取的原料空气进行低温吸附处理，从原料空气中吸附、除去其中所含有的除了氮、氧、稀有气体以外的化学成分。
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