[发明专利]对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的方法及装置无效
申请号: | 98104416.6 | 申请日: | 1998-02-10 |
公开(公告)号: | CN1136430C | 公开(公告)日: | 2004-01-28 |
发明(设计)人: | 荻原元德;石川修弘;野田孝 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B7/016 | 分类号: | G01B7/016;G01B21/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 孙敬国 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明揭示一种对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量方法及测量装置。在采用接触触发式测量头(70)对被测物体的尺寸及表面状况进行测量的测量装置和测量方法中,对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值及速度进行检测,根据这些坐标值、速度及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间求得接触时的坐标值。 | ||
搜索关键词: | 物体 尺寸 表面 状况 进行 测量 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种对被测物体的尺寸和表面状况进行测量的测量方法,其中使一测量头和被测物体(w)相对移动,当该测量头和被测物之间的距离变成预定值时,该测量头就产生一位置检测信号,响应于测量头产生的位置检测信号,检测测量头与被测物体(w)的相对移动坐标值,并随后根据该相对移动坐标值,测量被测物(w)的尺寸和表面状况中的至少一种,其特征在于,所述测量方法包括以下步骤:当从所述测量头产生位置检测信号时,检测测量头与被测物(w)的相对移动坐标值和相对移动速度;以及用从所述位置检测信号发生时的相对移动速度计算出的修正量对所述位置检测信号发生时的相对移动坐标值进行修正。
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