[发明专利]使用电子发射器件的电子装置及成象装置无效
申请号: | 98106108.7 | 申请日: | 1998-03-31 |
公开(公告)号: | CN1143356C | 公开(公告)日: | 2004-03-24 |
发明(设计)人: | 山崎康二;伏见正弘;光武英明 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01J31/12 | 分类号: | H01J31/12;H01J29/82 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种电子装置,它包括:具有电子发射器件的后基底,具有将被电子辐照的部件的前基底,以及用来保持后基底和前基底之间的间隔的支撑部件,该支撑部件与所述后基底和所述前基底相电连接,其中施加了用于从所述后基底向所述前基底加速电子的电场,所述支撑部件的一个表面具有从连接到所述后基底的部分算起长度为d1的第一区域、从连接到所述前基底的部分算起长度为d3的第三区域、及介于第一和第三区域之间的第二区域,所述支撑部件在第一和第三区域中的表面上的纵向每单位长度的电位差小于所述支撑部件在第二区域中的表面上的纵向每单位长度的电位差,并令ΔV1为连接到所述后基底的一个部分的电位与第二区域侧上的第一区域的一个端部的电位之间的电位差,ΔV3为连接到所述前基底的一个部分的电位与第二区域侧上的第三区域的一个端部的电位之间的电位差,这些电位差满足:ΔV1/d1>ΔV3/d3。 | ||
搜索关键词: | 使用 电子 发射 器件 装置 成象 | ||
【主权项】:
1.一种电子装置,它包括:具有电子发射器件的后基底,具有将被电子辐照的部件的前基底,以及用来保持后基底和前基底之间的间隔的支撑部件,该支撑部件与所述后基底和所述前基底相电连接,其中施加了用于从所述后基底向所述前基底加速电子的电场,所述支撑部件的一个表面具有从连接到所述后基底的部分算起长度为d1的第一区域、从连接到所述前基底的部分算起长度为d3的第三区域、及介于第一和第三区域之间的第二区域,所述支撑部件在第一和第三区域中的表面上的纵向每单位长度的电位差小于所述支撑部件在第二区域中的表面上的纵向每单位长度的电位差,且令ΔV1为连接到所述后基底的部分的电位与第二区域侧上的第一区域的端部的电位之间的电位差,ΔV3为连接到所述前基底的部分的电位与第二区域侧上的第三区域的端部的电位之间的电位差,则这些电位差满足:ΔV1/d1>ΔV3/d3
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