[发明专利]用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置无效
| 申请号： | 98106212.1 | 申请日： | 1998-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1112590C | 公开（公告）日： | 2003-06-25 |
| 发明（设计）人： | 具泰兴 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;B65G49/07;H01L21/68;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 杨梧 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置，其包括用于从一用户托盘上拾起各半导体装置的真空吸取装置，一个用于使各真空吸取装置向上和向下运动的缸，及一个用于对已从各真空吸取装置中脱离出的各半导体装置进行定位的定准器。各半导体装置的定位操作是在取放装置将各半导体装置从用户托盘传送到测试托盘上时完成的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 半导体 装置 机械手 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置，所述取放装置包括：一支承架；一个装在所述支承架上的操作板；一个用于使所述操作板升降的升降缸；多个连接到所述操作板上并根据所述操作板的升降而升降的缸；多个连接到各缸上，从而随其升降的真空吸取装置，所述真空吸取装置用于从一用户托盘上拾起所述的各个半导体装置；用于使所述真空吸取装置在各半导体装置由所述真空吸取装置拾起之后运动到一预定关系的布置装置；所述布置装置包括：一个伸展件，所述多个真空吸取装置连接在该伸展件之上，所述伸展件沿一纵向伸展并缩回，以便改变所述真空吸取装置之间的距离；及一个用于使所述伸展件伸缩的伸缩缸，当所述半导体装置从所述真空吸取装置上脱离时用于接纳这些半导体装置并对其进行定位的定位装置。
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