[发明专利]一种金属－绝缘体－金属开关器件的制法无效
| 申请号： | 98106751.4 | 申请日： | 1998-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1230792A | 公开（公告）日： | 1999-10-06 |
| 发明（设计）人： | 刘洪武;黄锡珉;马凯;吴渊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春物理研究所 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 130021*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于液晶显示器寻址的金属－绝缘体－金属有源薄膜开关器件的制法。采用五氧化二钽膜制作金属－绝缘体－金属开关器件的绝缘层,阳极氧化的五氧化二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。减少绝缘膜的阳极氧化Ta2O5膜表面的富氧层的存在,可以提高器件伏安特性的对称性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 绝缘体 开关 器件 制法 | ||
【主权项】：
1．一种有源薄膜器件的制作方法，用五氧化二钽膜制作金属-绝缘体-金属开关器件的绝缘层，其特征在于阳极氧化的五氧化二钽膜在氢气气氛下进行退火处理。
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