[发明专利]超声波清洗设备无效
| 申请号： | 98108994.1 | 申请日： | 1998-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN1099325C | 公开（公告）日： | 2003-01-22 |
| 发明（设计）人： | 佐藤信昭;西崎光広 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 马浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超声波清洗设备，能够把超声波有效地发射到一个晶片的整个清洗表面上，并因而具有改进的清洗效果。该设备具有支撑件(28a、28b)，超声波防护板(24a、24b)，超声波发生器(23a、23b)。交替地操作超声波发生器(23a、23b)，并且当从一侧发射超声波时而在支撑件28a(28b)的阴影中的一个超声波阴影区(29a、29b)，后来由从另一侧来的超声波辐射，从而把超声波发射在每个晶片7的清洗表面7a的整个区域上。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 设备 | ||
【主权项】：
1.一种超声波清洗设备，包括：一个装有清洗液的清洗槽；一个薄板件保持架，带有开凹槽的支撑件，诸支撑件用于在所述清洗液中在至少两个地方支撑一个薄板件下边缘；及超声波发生装置，用来平行于所述薄板件的一个清洗表面从所述清洗液中所述薄板件的两侧以水平方向发射超声波，其中诸支撑件提供在不同的高度位置，其中所述超声波发生装置包括两个用来向所述清洗表面的相同区域上发射超声波的超声波发生器，所述两个超声波发生器各自装有一块超声波防护板，并且在每个超声波发生器和超声波防护板的组合中，当所述超声波发生器不正在工作时，把所述超声波防护板定位在所述超声波发生器的前面，而当所述超声波发生器正在工作时，把所述超声波防护板定位在从所述超声波发生器的前面缩回的位置。
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