[发明专利]包括具有微反射镜的干涉仪的可调光学测试装置及系统

摘要

通过比较测试光束和参考光束来确定在源光束中的象差的可调光学系统,包括测试光源;波阵面分析器;和干涉仪,其包括将源光束分成测试光束和参考光束的分束器;成像装置;反射镜,将测试光束反射到成像装置上;微反射镜,将参考光束的中央部分反射到成像装置上并让参考学束的外围部分由此通过;用来收集和探测参考光束的所述外围部分的对光图像装置;和将参考光束会聚在微反射镜之上的聚焦装置,微反射镜的横向尺寸不超过由聚焦装置聚焦其上的参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸。

主权项

1．一种通过比较测试光束和参考光束来确定在源光束中的象差的可调光学系统，所述的光学系统包括：用来产生包括象差分量的具有空间强度分布的源光束的测试光源；用来处理与所述象差分量相关的条纹信号的波阵面分析器；和置于所述测试光源和波阵面分析器之间的干涉仪，所述的干涉仪包括：用来将所述源光束分成沿测试光路方向传播的测试光束和沿参考光路方向传播的参考光束的分束器；用来探测所述测试光束和所述参考光束的成像装置；置于所述测试光路上的反射镜，所述的反射镜用来将所述测试光束反射到所述成像装置上；置于所述参考光路上的微反射镜，所述的微反射镜用来将所述参考光束的中央部分反射到所述成像装置上并让所述参考光束的外围部分由此通过；用来收集和探测所述参考光束的所述外围部分以便可以相对所述参考光束的所述中央部分和外围部分调整所述微反射镜的对光图像装置；和置于所述参考光路上的、在所述分束器和所述微反射镜之间的、用来将所述参考光束会聚在所述微反射镜之上的聚焦装置，所述微反射镜的横向尺寸不超过由所述聚焦装置聚焦其上的所述参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸，从而当所述测试光束被所述反射镜反射且所述参考光束的所述中央部分被所述微反射镜反射时，所述被反射的测试光束和所述参考光束的所述被反射的部分一起入射在所述成像装置上，在其上形成一个干涉图样，所述的干涉图样包括多个干涉条纹，所述干涉条纹由所述成像装置转换成所述条纹信号。