[发明专利]集成管理半导体加工数据的方法无效
申请号: | 98118461.8 | 申请日: | 1998-08-19 |
公开(公告)号: | CN1135491C | 公开(公告)日: | 2004-01-21 |
发明(设计)人: | 尹钟贤 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G06F19/00 | 分类号: | G06F19/00;G06F9/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马莹 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种用于半导体加工数据的集成管理的方法。该方法能够容易地访问在一条半导体生产线中产生的数据,公共地分享和容易地访问在多条半导体生产线中产生的数据。根据该方法,集成管理模块安装在每条半导体生产线上,并允许半导体加工数据的集成管理。 | ||
搜索关键词: | 集成 管理 半导体 加工 数据 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于集成管理半导体加工数据的方法,包括以下步骤:在在线互连的多条半导体生产线中的各个生产线中安装集成管理系统,该集成管理系统提供对一条半导体生产线中的数据的集成分析,且提供在多条半导体生产线之间的增强的访问和容易的数据共享;将用户接口计算机联机在多个所述集成管理系统中的一个上;重新安装所述用户接口计算机的工作环境,使其与所述用户接口计算机所联机的所述集成管理系统的工作环境相同;和根据所述用户接口计算机的所述重新安装的工作环境,进行工作。
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