[发明专利]纵向晶体管

摘要

一种用于如DRAM单元等存储单元的纵向晶体管,具有沟槽电容器。纵向晶体管包括栅,所说栅包括水平部分和位于沟槽电容器上的垂直部分。

主权项

1．一种包括存储器的计算机系统，其中存储器包括随机存取存储单元，该单元包括：形成于衬底上的沟槽电容器，其中沟槽电容器的上表面凹到衬底上表面以下；浅沟槽隔离(STI)，该STI与沟槽电容器部分重叠，留下沟槽电容器上其余部分，及位于衬底上与STI相对的晶体管，该晶体管包括栅、源和漏区，所说栅包括导电层，该导电层具有位于衬底表面上的水平部分及隐蔽于衬底下和沟槽电容上的所说其余部分中的垂直部分，位于沟槽电容器上的介质层，用于隔离第二栅部分与沟槽电容器。