[发明专利]细粉上电荷量的控制方法和装置以及细粉的喷射方法和装置

摘要

一种控制细粉上电荷量的方法和控制电荷量的装置，当把细粉以大致的离散颗粒状态提供给输送管并由水含量极小的露点不大于0℃的压缩气流输送离散状的颗粒时，通过控制压缩气体的露点控制细粉上细粉与细粉输送管内壁碰撞时所必然产生的电荷量。利用这种布局，即使在细粉如液晶隔离物等的类型、管路系统如粉输送管和喷嘴等、用作载运介质的气体类型和状态以及如气压等环境条件有变化时，也能够控制细粉上必然产生的电荷量。另外，细粉喷射方法和装置利用二维摆动喷嘴把摩擦电荷量按上述控制的细粉以离散的颗粒状态均匀地喷射到接地的基板表面。利用这种布局，通过控制细粉的电荷量，可以以预定的目标喷射密度稳定地、精确定点且再现性极佳地喷射细粉。

主权项

1.一种控制细粉上电荷量的方法，包括步骤：当把细粉以大致的离散颗粒状态提供给输送管并由水含量极小的露点不大于0℃的压缩气流输送离散状的颗粒时，通过控制压缩气体的露点来控制细粉与细粉输送管内壁碰撞时由于摩擦而在细粉上所必然产生的电荷量；通过使压缩气体穿过管状透水膜的内侧以润湿压缩气体或从压缩气体中去除水分，以此来调节压缩气体的露点。