[发明专利]光学部件对照射的耐久性预测法及石英光学部件的选择法

摘要

提供光学部件对激元激光器照射的耐久性预测方法。求出考虑光学部件中的氢浓度和/或氯浓度、进行照射的激元激光器的能量密度和累计脉冲数的、光学部件的吸收系数与进行照射的激元激光器的累计脉冲数的关系在可能近似直线的直线区域的吸收系数的变化，以及考虑光学部件中的氢浓度和/或氯浓度和进行照射的激元激光器的能量密度的、光学部件的吸收成为饱和状态的饱和区域的吸收系数值，从根据这两者求出的透射率变化能够预测该光学部件的耐久性。

主权项

1.光学部件对激元激光器照射的耐久性预测方法，其特征在于，具有以下3个过程：在光学部件的吸收系数和进行照射的激元激光器的累计脉冲数的关系是可能近似直线的直线区域，求出在光学部件上照射第1规定照射能量密度的激元激光器激光时的上述光学部件中的氢浓度和/或氯浓度与吸收系数的相关值，及照射能量密度和累计脉冲数与吸收系数的相关值，从这些相关值求出在上述直线区域的吸收系数与氢浓度和/或氯浓度、照射能量密度及累计脉冲数的第1关系式的第1过程；在考虑上述光学部件的饱和吸收系数的饱和区域，求出在上述光学部件上照射上述第1规定照射能量密度的激元激光器激光时的饱和吸收系数与照射能量密度的相关值以及与上述光学部件中的氢浓度和/或氯浓度的相关值，从这些相关值求出在上述饱和区域的吸收系数与照射能量密度及氢浓度和/或氯浓度的第2关系式的第2过程；求出在上述第1关系式中代入在上述光学部件中的氢浓度和/或氯浓度、及进行照射的激元激光器的照射能量密度和累计脉冲数而得到的上述直线区域的吸收系数的变化，以及在上述第2关系式中代入在上述光学部件中的氢浓度和/或氯浓度、及进行照射的激元激光器的照射能量密度而得到的上述饱和区域的吸收系数的值，从上述光学部件对由这些求出的第2规定照射能量密度的激元激光器发生的透射率变化预测上述光学部件的耐久性的第3过程。