[发明专利]砷化镓、磷化镓衬底干处理方法无效
| 申请号： | 98121590.4 | 申请日： | 1998-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1071713C | 公开（公告）日： | 2001-09-26 |
| 发明（设计）人： | 廖常俊;刘颂豪 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学华南量子电子学研究所 |
| 主分类号： | C01G15/00 | 分类号： | C01G15/00;C01G28/00;C01B25/08;H01L21/30 |
| 代理公司： | 华南理工大学专利事务所 | 代理人： | 何燕玲 |
| 地址： | 51063*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种砷化镓、磷化镓衬底的干处理方法，直接用衬底生长材料的气体源为清洗剂，使高速转动的衬底表面与气体源在高温下相互作用，制备出表面结构完整且达到原子清洁的衬底；本发明方法消除了清洗设备自身固有的由清洗产物造成的污染、交叉污染及水和大气造成的污染；本发明方法因与生长材料的气相反应室相容，衬底清洗干净后可直接进行材料生长处理，避免衬底包装、运输和再安装带来二次污染。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 磷化 衬底 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种砷化镓、磷化镓衬底的干处理方法，其特征在于直接用衬底生长材料的气体源为清洗剂，使高速转动的衬底表面与气体源在高温下相互作用，所述气体源是经氢气稀释的砷烷或磷烷，衬底转速为500转/分-1500转/分，清洗温度为400℃-800℃。
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