[发明专利]等离子处理装置和等离子处理方法无效
| 申请号： | 98122788.0 | 申请日： | 1998-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1121810C | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 澤田康志;山崎圭一;井上吉民;岡崎幸子;小駒益弘 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种等离子处理装置和等离子处理方法。包括具有外侧电极1的筒状反应管2及配置在反应管2内部的内侧电极3，反应管2内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体，同时在外侧电极1与内侧电极3之间加上交流电场，通过这样在大气压下使反应管2内部产生辉光放电，从反应管2喷出等离子喷气，并在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却装置。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子处理装置，包括具有外侧电极的筒状反应管及配置在反应管内部的内侧电极，反应管内引入惰性气体或惰性气体与反应气体的混合气体，同时在外侧电极与内侧电极之间加上交流电场，通过这样在大气压下使反应管内部产生辉光放电，从反应管喷出等离子喷气，其特征在于，在外侧电极及内侧电极的至少一方设置冷却装置。
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