[发明专利]激光扫描力显微镜

摘要

一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。

主权项

1、一种激光扫描力显微镜，包括光源，准直扩束器，显微物镜，微探针，压电扫描台，被测样品置于压电扫描台上，锁相放大器，带有A/D及D/A转换器的计算机，其特征在于：该激光扫描显微镜由光源(1)、准直扩束器(2)、半反半透镜(3)、显微物镜(4)、聚焦物镜(5)、带有光电二极管的前置放大器(6)、锁相放大器(7)、压电叠堆(8)、微探针(9)、压电扫描台(10)、带有A/D及D/A转换器的计算机(11)构成，其中光源(1)采用半导体激光器，激光经准直扩束器(2)、半反半透镜(3)、显微物镜(4)后聚焦在微探针(9)表面上，其反射光与后向衍射光形成干涉，干涉光束复经显微物镜(4)、半反半透镜(3)后由聚焦透镜(5)聚焦在光电二极管上，带该光电二极管的前置放大器(6)的输出端与锁相放大器(7)的输入端连接，锁相放大器(7)的一个输出端接压电叠堆(8)，微探针(9)的硅基片固定在压电叠堆(8)上，压电扫描台(10)位于微探针(9)的下方，锁相放大器(7)的另一个输出端通过A/D转换器与计算机(11)连接，计算机(11)通过D/A转换器向压电扫描台(10)输出控制电压(UX、UY、UZ)。