[发明专利]液浆喷洒装置无效
| 申请号： | 98123943.9 | 申请日： | 1998-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1092544C | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 莫逢俊;乔恩·陈 | 申请（专利权）人： | 阿普莱克斯公司 |
| 主分类号： | B05B3/02 | 分类号： | B05B3/02;B05C5/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种由旋转轮喷洒液浆的液浆喷洒器，设置在制造集成电路所需的化学机械抛光过程中，在第二种结构中，液浆喷洒器使用一对反向转动轮，该转轮由可变速电动机以一预定速度驱动，凭经验确定的转速可喷洒出所需的液浆量，旋转轮的形状控制射流的竖直分布，液浆喷洒器壳体上的开口和转轮的旋转速度控制射流的水平分布，液浆喷洒器由与液浆不发生化学作用的材料做成。 | ||
| 搜索关键词： | 喷洒 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液浆喷洒器，其特征在于，包括：带有第一开口的壳体；设置在所述壳体内用以储存液浆的第一储存器；第一旋转机构；以及在所述壳体内的第一转轮组件，所述第一转轮组件与所述旋转机构连接转动，所述第一转轮组件包括第一圆盘部分和第一传输通道用以将所述液浆从所述储存器输送到所述第一圆盘部分，其中所述第一圆盘部分包括一沿所述圆盘部分圆周的凹槽，所述第一传输通道包括插入所述第一储存器的第一锥形件，从而当所述第一转轮组件转动时，液浆流被迫沿所述第一锥形件向上蠕动进入所述第一圆盘部分，并通过所述第一开口以射流形式由所述第一圆盘部分喷洒出去。
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