[发明专利]内置指状平板式电容电阻及其制造方法

摘要

本发明涉及一种内置指状平板式电容电阻及其制造方法，该方法主要是利用压板技术在基材表、底面依次形成高电阻系数层及铜层而构成基板，又在基板上依次进行光阻涂布、影像转移、选择性蚀刻等步骤，其中影像转移步骤是将特定的影像数据转移至基板上，经蚀刻后于基板上构成交叉的指状电极，并于特定部位留下高电阻系数层及铜层，经涂布高介电系数树脂后，即于基板的同一平面上同时形成平板式电容、电阻。

主权项

1·一种内置指状平板式电容电阻的制造方法，其特征在于制造步骤包括：在绝缘基材表、底面上依次形成高电阻系数层及铜层以构成基板；在基板上涂布光阻并进行影像转移；在基板上进行影像蚀刻，而分别在基材上形成交叉的指状电极、适当长宽的高电阻系数层及适当面积的铜层；去除光阻；二次在基板上进行光阻涂布及影像转移；有选择地蚀刻液去除局部铜层，并保留高电阻系数层以构成平板式电阻；在平板式电阻及交叉排列的指状电极间涂布高介电系数树脂，令指状电极隔着树脂构成平板式电容；其中：该基板的基材具有固定的电阻系数/厚度比值，可经控制高电阻系数层的长、宽度而取得所需阻值的电阻。