[实用新型]可消除白点的CMOS图像感测器

摘要

一种可消除白点的CMOS图像感测器,其包括有P－N接面感测区,场氧化层、保护层及基底。基底上形成有保护层覆盖在鸟嘴上,形成自动对准罩幕,使后续的植入或扩散制造过程,不会植入杂质(例如硼、磷……等)在鸟嘴处,避免P－N接面感测区在鸟嘴处的破坏及缺陷,减少漏电路径,有效地消除白点、亮线(暗点或暗线),会提高成品合格率。

主权项

1、一种可消除白点的CMOS图像感测器，包括有一基底、一P一N接面感测区、至少一场氧化物及至少一保护层，其特征在于：基底上形成有P-N接面感测区，在P-N接面感测区至少一侧形成有场氧化物，场氧化物上形成有保护层，保护层复盖氧化物的边缘鸟嘴处。