[实用新型]一种气相生长金刚石膜的反应室

摘要

一种气相生长金刚石膜的反应室,包括等离子弧喷射装置、电机及导轨,等离子弧喷射装置装在盖体中部,盖体联接双层密封罩,双层密封罩上有观察窗,观察窗的顶端联接视镜,上述等离子弧喷射装置的外部、双层密封罩的夹层及观察窗的顶部均有连接循环水源的水套,密封罩的下部联接气腔壳,气腔壳及热交换器轴承联接沉积台托轴,沉积台托轴中有回水冷却管,电机齿轮传动沉积台托轴,轴座的一侧连接导轨,轴座的下部与推进装置由丝杠丝母联接。本反应室可以廉价高速地生长出大面积的金刚石膜。

主权项

1.一种气相生长金刚石膜的反应室，包括等离子弧喷射装置3、电机14、及导轨17，其特征是等离子弧喷射装置3装在盖体2的中部，盖体2联接双层密封罩4，双层密封罩4上有观察窗，观察窗的顶端联接视镜1，上述等离子弧喷射装置3的外部有环形水套21，双层密封罩4的夹层形成水套，观察窗的顶部有环形水套22，上述水套分别有进水口和出水口接循环水源，密封罩4的下部联接气腔壳10，气腔内上部联接热交换器9，热交换器9中部有连通气腔与反应室的气体冷却管8，其进水管12和出水管18引出气腔接循环水源，气腔引出的盲管接真空表19，气腔的抽气口11接气体循环装置，气腔壳10的底壳及热交换器9中部空腔内轴承联接沉积台托轴6，沉积台托轴6的顶部联接沉积台5，沉积台上固定衬底20，沉积台托轴6的底部与轴座15轴承连接，沉积台托轴6中有回水冷却管7，回水冷却管7的底部接轴座15的隔板23，轴座15的进水管与轴座的上水箱、托轴内腔、回水冷却管7相通，再与轴座的下水箱及出水管相通，其出水管和进水管与循环水相通，与轴座15一体相连的电机14齿轮传动沉积台托轴6下部一体连接的齿轮，轴座15的一侧连接导轨17，轴座15的下部与推进装置由丝杠丝母16联接。