[实用新型]一种采用面阵式CCD探测器的多光栅单色仪

摘要

本实用新型属于光学电子器件领域,它将多块光栅平行组合成新的光栅平面,覆盖CCD探测器全波长范围的整个光谱区,无需任何机械传动和位移装置,便能在200—1100nm波长范围,实现高精度和快速波长扫描。本仪器的原理还可被推广应用于红外光谱区。本光栅单色仪,设计和结构简单,波长扫描精度高,光谱范围宽,性能稳定,易于调试、使用寿命长,可广泛应用于各种光谱分析和测量。

主权项

1、一种多光栅单色仪，由多块光栅和面阵式CCD探测器、控制计算机构成，其特征在于多块光栅以等分形式平行组合成一个新光栅平面，并覆盖对应于CCD探测器的波长范围的整个光谱区，光栅平面垂直于入射方向；第一块光栅以后各块光栅前端分别放置一片高通滤光片，各滤光片的截止波长与对应的光栅的前缘波长一致，以便滤去光栅光谱区对应的2次以上的高次衍射光；与光栅结构相对应，CCD探测器的焦平面也等分成多个光谱区，每个等分部分的探测元数目按波长扫描方向再均匀等分为若干个小区，每个探测小区探测元与各被检测波长位置相对应，系统由计算机控制。