[实用新型]柔性卷绕镀膜机无效
| 申请号： | 98231060.9 | 申请日： | 1998-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN2339589Y | 公开（公告）日： | 1999-09-22 |
| 发明（设计）人： | 彭传才;黄广连;曹志刚;胡云慧;余圣发;魏敏;李京增 | 申请（专利权）人： | 长沙国防科技大学八达薄膜电子技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 湖南省专利服务中心 | 代理人： | 唐国平 |
| 地址： | 41007*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种柔性卷绕镀膜机。它是由卷绕室,镀膜室以及辅助装置组成;在镀膜室中围绕冷却辊设置有多个磁控溅射靶。两个靶之间设置有隔离槽,隔离槽与抽气装置相通,隔离槽与冷却辊之间的距离不大于10mm;每个靶配置有独立的布气管。本实用新型实现了在柔性材料上进行低辐射膜的连续镀。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 卷绕 镀膜 | ||
【主权项】：
1.柔性卷绕镀膜机，包括卷绕室和镀膜室以及辅助装置，其特征在于在镀膜室中围绕冷却辊设置有多个磁控溅射靶，每两个磁控溅射靶之间设置有隔离槽，该隔离槽与抽气装置联通，在隔离槽上设有排气孔与靶室相通；隔离槽与冷却辊之间的距离不大于10mm；每一磁控溅射靶配有独立的布气管。
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