[实用新型]等离子体离子能量测量分析仪无效
| 申请号： | 98240581.2 | 申请日： | 1998-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN2354140Y | 公开（公告）日： | 1999-12-15 |
| 发明（设计）人： | 陈俊芳;吴先球;王德秋 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 华南理工大学专利事务所 | 代理人： | 罗观祥 |
| 地址： | 510631*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型是等离子体离子能量测量分析仪，它由机箱、离子能量分析器、显示器、电压表、键盘、取样电阻、直流电源、数据自动采集测量装置、计算机共同连接构成。其中，离子能量分析器由屏蔽板、排斥极、分析极、接收极及各电极引线连接构成，各极引线与各极直接压固；其连接关系为离子能量分析器通过电源线与直流电源连接，分析器的接收极与取样电阻串接，电压表与取样电阻并接，或取样电阻与数据自动采集测量装置的低通滤波器相接，数据自动采集测量装置与计算机电气连接。本分析仪可直接测量等离子体离子能量分布规律，能使等离子体技术应用更广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子 能量 测量 分析 | ||
【主权项】：
1、一种等离子体离子能量测量分析仪，其特征在于：它由机箱(1)、等离子体离子能量分析器(2)、显示器(3)、直流电压表(4)、键盘(5)、取样电阻(6)、可调直流电压源(7)、数据自动采集测量装置(8)、主控计算机(9)、等离子体离子能量测量分析仪电路共同连接构成，其中：等离子体离子能量分析器(2)由屏蔽极(10)、排斥极(11)、分析极(12)、接收极(13)、各电极引线(14)共同连接构成，各极板与各电极引线(14)的连接采用直接压固连接，其相互连接关系为：若为手动测量方式，等离子体离子能量分析器(2)通过直流电压源信号线及装于机箱(1)背部的接插头座与可调直流电压源(7)相电气连接，直流电压源(7)与等离子体离子能量分析器(2)的排斥极(11)，分析极(12)连接，等离子体离子能量分析器(2)的接收极(13)通过取样信号线与取样电阻(6)串连连接，直流电压表(4)通过取样信号线与取样电阻(6)并联连接，各连接线均采用屏蔽信号导线连接；若采用自动测量方式，则除采用上述的连接方式外，把取样电阻(6)通过取样电压信号传输线与数据自动采集测量装置(8)中的低通滤波器(17)相电气连接，数据自动采集测量装置(8)通过计算机测量信号输入线及装于机箱背部的接线接插头座与主控计算机(9)相电气连接。
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