[实用新型]激光等离子体软X射线扫描单色仪

摘要

一种激光等离子体软X射线扫描单色仪,含有机械构件中置于头部后端外套筒内悬挂式导轨上有带自动同步控制装置的调整架。光学元件中有同时置于带自动同步控制装置调整架上的单色扫描狭缝和探测元件。软X射线源的泵浦源是激光器,沿激光束前进方向上依次有会聚透镜和分束镜。电子元件中有由分束镜反射激光束f起动的外触发器联到存储示波器、有位移传感器联结着数据存储器和自动同步控制装置。具有体积小、适用面广、精度高的优点。

主权项

1.一种激光等离子体软X射线扫描单色仪，含有机械构件、光学元件和电子元件：其中机械构件包括前端与真空靶室(8)窗口密封连接的头部(1)，头部(1)后端密封连接有外套筒(6)，外套筒(6)后端盖有盲盖(7)，在外套筒(6)内的悬挂式导轨(2)上置有调整架(3)、(4)、(5)；其中光学元件包括：沿着由真空靶室(8)内软X射线源(9)发射的软X射线束S前进的方向上，在外套筒(6)内，依次置有矩形光阑(14)，置于调整架(3)上的轮胎反射镜(15)，置于调整架(4)上的无支撑大面积透射光栅(16)，置于调整架(5)上有探测元件(18)；其中电子元件包括：与探测元件(18)输出端相联的信号放大器(19)，信号放大器(19)的输出经过存储示波器(13)后接到数据存储器(22)上；其特征在于：调整架(5)带有自动同步控制装置(20)；作为真空靶室(8)内软X射线源(9)的泵浦源是激光器(10)；在激光器(10)和软X射线源(9)之间，沿激光束G前进方向上，依次有会聚透镜(23)和分束镜(11)；置于调整架(5)上在探测元件(18)之前还有单色扫描狭缝(17)；激光束G经会聚透镜(23)后，经分束镜(11)的透射光束t会聚到软X射线源(9)上，由分束镜(11)反射的反射光束f会聚到外触发器(12)上；外触发器(12)与存储示波器(13)相联，存储示波器(13)联到数据存储器(22)，数据存储器(22)与位移传感器(21)相联，位移传感器(21)联到调整架(5)上的自动同步控制装置(20)。