[实用新型]消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备无效
| 申请号： | 98251712.2 | 申请日： | 1998-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN2408490Y | 公开（公告）日： | 2000-11-29 |
| 发明（设计）人： | 宋航;周天明;蒋红;张宝林;金亿鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春物理研究所 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130021*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种在气体流量精确控制过程中,消除相关气路在调节改变某一气路和某几个气路气体流量时引起相关其它气路气体流量波动的一种装置。是在有单一公共运载气体源的气体流量精确控制设备中,增加一路装有一个通用的质量流量控器,不通过任何反应物的附加气路作为气体流量平衡补偿调节气路。平衡补偿气路所排放的气体可以回收,不会造成不必要的浪费。由于只增加一路平衡补偿气路,所以具有结构简单,成本低廉,容易实施等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 消除 相关 流量 波动 高精度 质量 控制 设备 | ||
【主权项】：
1、一种消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备，其特征是在有单一公共运载气体源的气体流量精确控制设备中，增加一路装有一个通用的质量流量控制器5和气体回收器6，不通过任何反应物的附加气路作为气体流量平衡补偿调节气路；气体流量平衡补偿调节气路，通过气体三通同气体流量精确控制气路相接；气体流量平衡补偿调节气路中的质量流量控制器5，可以采取手动调节，也可以采用计算机控制调节。
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