[发明专利]电容测微器

摘要

一种能够在大频率范围以低噪声水平测量位移的电容测微器,包括一个可变振荡器(JR1、L1、Cmic),该可变振荡器包括一个可变电容(Cmic),振荡器频率随电容而变,振荡器安装在与要测量的物体相邻的一个测头(P)中,并且一个鉴别器(D)由一根同轴电缆(W)联接到测头上,鉴别器相对于一个预定频率值估计振荡器频率,该预定频率值可以由一个模拟谐振电路(图3)或一个数字电路提供,在数字电路中,预定频率值由一个基准时钟信号提供,该基准时钟信号把振荡器频率符号延迟一个预定量,并且把它乘以振荡器信号的末延迟形式,以给出其值相对于振荡器信号的频率而变化的电压信号(图6、7)。振荡器频率信号的频率可以由一种外差式结构减小,并且鉴别器包括在一种锁相环路结构中。描述了测头的各种结构。

主权项

1.一种包括可变振荡器装置的可变电容传感器，该电容传感器包括：一个用来改变振荡器输出信号频率的可变电容装置、和一个响应振荡器输出信号的鉴别器装置，包括用来相对于预定频率值估计振荡器频率的装置，以提供一个其值相对于振荡器输出信号的频率而变化的输出电压信号。