[发明专利]薄膜涂覆装置和方法以及生产液晶显示器的方法和液晶显示器

摘要

公开了一种生产液晶显示器的方法，该方法包括以下步骤在一对透明衬底的表面上形成透明电极和半导体电路元件的步骤，以及涂覆光刻胶、曝光、蚀刻、脱除光刻胶、检查电极和半导体电路元件、形成绝缘膜、形成取向膜、摩擦取向膜、涂布间隔层、涂覆密封剂、装配液晶盒、填充液晶、粘贴偏振片、连接驱动器IC等各种步骤，其特征在于，在摩擦取向膜之前的至少一个步骤中用软X-射线照射衬底以高产量地生产液晶显示器，在该显示器中象素缺陷的数量是很少的。

主权项

1.一种薄膜涂覆装置，该装置包括能够在该装置中移动衬底的衬底移动部分，在该衬底上形成薄膜的涂覆部分，以及在衬底涂覆部分或涂覆部分至少前面的位置发射软X-射线到衬底上的一个或两个软X-射线照射部分，其中在软X-射线照射部分中的软X-射线的能量为4-9.5keV，并且从衬底到软X-射线源的距离小于1500mm。