[发明专利]喷墨头及其制造方法

摘要

本喷墨式记录头的制造方法包括：(A)在有透光性的底座上，形成可通过光照射产生剥离的剥离层(11)的工艺，(B)在剥离层(11)上，形成共用电极膜(3)的工艺，(C)在共用电极膜(3)上，形成多个压电体元件(4)的工艺，(D)形成储料器部件(5)的工艺，储料器部件(5)配有在内部装有一个以上的压电体元件(4)的盖状结构，在其内部形成有墨水储料器(51)，(E)通过从底座(10)侧将预定的光照射在剥离层(11)上，在剥离层(11)产生剥离，从而剥离底座(10)的工艺，(F)在底座被剥离的共用电极膜(3)上，粘接设有多个压力室(21)的压力室基板(2)，以便密封各压力室(21)的工艺。由于可以按与形成压电体元件不同的工艺制造薄的压力室基板，最后粘接这些压力室基板，所以可以制造与高清晰度相应的记录头。

主权项

1.一种喷墨式记录头，具有通过在压电体元件上施加电压产生体积变化，从而从设置于压力室中的喷嘴中喷出墨水的结构，其特征在于，该喷墨式记录头包括：压力室基板，形成带有可喷出墨水的喷嘴的所述压力室结构，使各喷嘴在同一方向上开口；共用电极膜，形成在与设置所述喷嘴的表面不同的所述压力室基板的一面上，以便密封各所述压力室；压电体元件，包括压电体薄膜和上电极分别形成在与所述共用电极膜上的各所述压力室对应的位置上；以及储料器部件，配有在内部装有一个以上的所述压电体元件的盖状结构，其内部形成墨水的储料器。