[发明专利]晶片搬运装置无效
| 申请号： | 98801545.5 | 申请日： | 1998-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1150119C | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 加藤智生;木村桂司 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G1/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过第1传感器(16)和第2传感器(17)检测将要从若干晶片中取出的晶片的位置和将要取出的晶片上下两层晶片的位置，上述若干晶片的周边部保持在晶片盒(13)的沟槽(14)内。利用上述检测信息计算晶片(15)的挠度并根据该计算结果确定搬运臂(18)能否插入到将要取出的晶片(15)下侧且不与下一层晶片(15)相接触以及该搬运臂(18)能否抬起将要取出的晶片(15)而不与上一层晶片(15)相接触。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 搬运 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶片搬运装置，相对于两端形成有若干保持晶片周边部的沟槽的晶片盒使晶片取出臂沿高度以及前后方向移动来从晶片盒中取出晶片，其特征在于：具有：在以给定间距存放在上述晶片盒内的各晶片的中心部和周边部中至少检测中心部的位置信息的传感器；根据上述晶片的中心部和周边部的位置信息来求挠度，并考虑挠度来决定上述晶片取出臂的插入位置的控制部；将上述晶片取出臂插入由上述控制部所决定的上述插入位置，将该晶片载置于该臂上，从上述晶片盒中取出上述晶片的搬运装置。
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