[发明专利]真空泵无效
申请号: | 98801692.3 | 申请日: | 1998-01-20 |
公开(公告)号: | CN1133813C | 公开(公告)日: | 2004-01-07 |
发明(设计)人: | 汉斯·约瑟夫·布格哈德;沃尔夫冈·吉贝曼斯;鲁道夫·巴赫奈;于尔根·迈尔 | 申请(专利权)人: | 莱博尔德真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B25/00;F04C29/10 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郑修哲 |
地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种真空泵,它有至少一个抽吸腔(7、8、23至26)和至少一个与抽吸腔相邻的腔(3、5、27);为了避免在相邻腔内受被输送气体引起的损坏,规定此真空泵配备有载气装置,以及均衡气的输入通过与抽吸腔相邻的腔进行。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
1.一种真空泵,具有至少一个抽吸腔(7、8、23至26)和一个载气装置,在该真空泵中:在一个外部壳体(4)内布置一个抽吸腔壳体(1),上述抽吸腔(7、8、23至26)位于此抽吸腔壳体内;以及,具有至少一个与上述抽吸腔相邻的腔(3、5、27),其特征为,上述载气装置具有:一个与抽吸腔相邻的气体进口(15、41),它设计成穿过上述抽吸腔壳体(4)连通上述抽吸腔(7、8、23至26)和一个相邻的腔(3、5、27);一个远离上述抽吸腔壳体(1)的气体入口(16),它设在一个与抽吸腔(7、8、23至26)相邻的腔(3,5,17)的壳体(4,6)上并配备有一个阀(17);上述与抽吸腔相邻的腔(3,5,27)至少部分地位于气体入口(16)和气体进口(15,41)之间。
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