[发明专利]质量传感器和质量检测方法无效
| 申请号： | 98801739.3 | 申请日： | 1998-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1119628C | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 武内幸久;大西孝生;木村浩二 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | G01G3/13 | 分类号： | G01G3/13;G01G3/16;G01N5/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,张志醒 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种质量传感器(30)，其中一个连接片(33)和一个膜片(31)在它们相应的侧面连接的一起；一个传感片(32)在其相应的侧面沿与膜片(31)与连接片(33)连接方向垂直的方向相连；在传感片(32)的至少一个片表面上安装有由一个压电膜和一个电极构成的一个压电元件(35)；由膜片(31)、传感片(32)、连接片(33)、和压电元件(35)组成的一个共振部分与一个传感器基体(34)相连。通过测量共振部分的共振频率随膜片(31)质量变化而产生的变化可以测量出膜片(31)质量的变化。本发明的质量传感器能够容易并且准确地测量毫微克量级的微小质量，包括微生物例如细菌和病毒、化学物质，以及蒸气沉积膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 传感器 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种质量传感器，其特征在于在一个传感片的至少一个片表面的至少一部分上设置有一个压电元件，至少一个片状膜片的一个侧面与所说传感片的一个侧面相连，使得所说膜片的片表面与上面设置有压电元件的所说传感片的片表面相互垂直，所说传感片的另一侧面与一个传感器基体相连，和由所说传感片、所说膜片、和所说压电元件组成一个共振部分。
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