[发明专利]压电阀

摘要

一种压电阀，具有隔膜，在没有把驱动信号施加给压电元件的状态下，上述隔膜与上述阀座接触，把隔膜室与通路隔开，即使引入隔膜室中的流体压力发生变化，隔膜不会产生任何变形，能可靠地与阀座接触。通路由盖部件可靠地封闭着，由此，能减少流体泄漏。另一方面，当驱动信号施加给压电元件时，隔膜产生挠曲，允许隔膜室与通路连通，把流体导入通路中。如果使压电元件过分地挠曲，由于压电元件与缓冲部件接触，可防止压电元件过分地变形，减少了损坏压电元件的可能。

主权项

1.一种压电阀，包括：多个隔膜室；配设在隔膜室中并构成阀体的隔膜；构造成向所述隔膜供应流体的输入口管；设置在上述隔膜一个面上、使该隔膜变位的压电元件；与上述压电元件相对的一个缓冲部件，该缓冲部件只有当所述隔膜处于挠曲状态时才与所述压电元件接触，以防止所述压电元件过度变形，所述缓冲部件设置在形成上述隔膜室的壳体上；设置在开口于上述壳体内的输出口管上、可与上述隔膜的另一个面接触的阀座，其特征在于，上述隔膜由金属板形成，并且在没有把驱动电力施加给上述压电元件的状态下，上述隔膜不储蓄弹性能量，保持与上述阀座接触，使上述输出口管处于闭合状态，和其中上述阀座不可移动，并且被固定在上述隔膜在平坦的非挠曲状态与该阀座接触的位置处。